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UHP Regulator (고압용)
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| 상품명 | UHP Regulator (고압용) |
|---|---|
| 원산지 | 국내 |
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| 상품코드 | P00000ES |
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호원
Tel : 042)670-6992
Fax : 042)670-6993
E-mail : info@hohwon.com
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됩니다.)
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서비스문의 안내
| RG1 Series | |||||||||||||
| Designed for point-of-use medium flow to be used in process gas cabinets for gas companies, | |||||||||||||
| equipment manufactures and semiconductor manufacturers. | |||||||||||||
| Precise control of gas pressure at or near the process tool for flow rates of up to 250 SLPM at 300 PSIG inlet. | |||||||||||||
| All internal surfaces are finished with 10Ra or 5Ra to ensure minimal particle generation and entrapment. | |||||||||||||
| Metal-to-metal diaphragm seals provide enhanced leak tight integrity. | |||||||||||||
| Every step of assembly, welding, testing and final cleaning finished in Class 100 or 10 Cleanrooms | |||||||||||||
| Specifications | |||||||||||||
| Fluid Media | |||||||||||||
| All gases corrosive or non-corrosive or those requiring high purity regulation | |||||||||||||
| compatible with materials of construction. For other media, consult with factory. | |||||||||||||
| Pressure Rating | Per criteria of ANSI / ASME B31.3. | ||||||||||||
| ● Max. rated inlet pressure : | 3500 or 600 PSIG (241 or 41 bar) | ||||||||||||
| ● Outlet pressure ranges : | 1-30, 1-60, 1-100, 1-150 or 1-250 PSIG | ||||||||||||
| (.1-2.1, .1-4.1, .1-6.9, .1-10.3 or .1-17.3bar) | |||||||||||||
| ● Design proof pressure : | 150% of Maximum rated pressure | ||||||||||||
| Materials in Contact with Media | |||||||||||||
| ● Body : | 316L Stainless Steel with BA, Electropolish | ||||||||||||
| ● Outlet pressure ranges : | PCTFE (Vespel optional for 3500 PSIG model only) | ||||||||||||
| ● Diaphragm : | Hastelloy C-22 | ||||||||||||
| ● Spring, valve stem and valve bush : | 316L Stainless Steel | ||||||||||||
| Other Parameters | |||||||||||||
| ● Flow coefficient : | Cv=0.06(3500 PSIG model), Cv=0.2(600 PSIG model) | ||||||||||||
| ● Certified maximum inboard leak rate : | 1X10-9 atm cc/sec He | ||||||||||||
| ● Internal surface finish : | 10Ra or 5Ra microinch(.25 or .13 micrometer) | ||||||||||||
| ● Operating temperature : | |||||||||||||
| PCTFE seat | -15℉ to + 176℉ (-26℃ to +80 ℃) | ||||||||||||
| Vespel seat | -15℉ to + 350℉ (-26℃ to +177℃) | ||||||||||||
| ● Weight (w/o gauges) : | 2.0lbs.(.9kg) | ||||||||||||
| Ordering Information | |||||||||||||
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| (1) Material | H = 1/4 Female Face Seal (Fig. D) | ||||||||||||
| S = 316L Stainless Steel Sigle Melted | I = 1/4 Female Face Seal (Fig. C) | ||||||||||||
| D = 316L Stainless Steel Double Melted | J = 1/4 Female Face Seal (Fig. B) | ||||||||||||
| (2) Connection Size | K = 1/4 Fixed Male Face Seal (Fig. B) | ||||||||||||
| 4 = 1/4 | L = 1/4 Fixed Male Face Seal (Fig. C) | ||||||||||||
| (3) Product | M = 1/4 Fixed Male Face Seal (Fig. D) | ||||||||||||
| RG1 Series | N = 1/4 Female NPT Thread (Fig.B) | ||||||||||||
| (4) Connection Type | O = 1/4 Female NPT Thread (Fig.C) | ||||||||||||
| NF = Female NPT Thread | P = 1/4 Female NPT Thread (Fig.D) | ||||||||||||
| SW = Compression Lok Fitting | (8) Outlet Pressure Range | ||||||||||||
| TW = Tube Butt Weld | 0 = 1~ 30 psig | ||||||||||||
| VF = Female Type Face Seal | 1 = 1~ 60 psig | ||||||||||||
| VM = Male Type Face Seal | 2 = 1~100 psig | ||||||||||||
| VMF = Fixed Male Type Face Seal | 3 = 1~250 psig | ||||||||||||
| (5) Maximum Inlet Pressure | 4 = 1~150 psig | ||||||||||||
| 1 = 3500 psig | (9) Maximum Range of Outlet Gauge | ||||||||||||
| 2 = 600 psig | 0 = 30 psig | ||||||||||||
| (6) Maximum Range of Inlet Gaugeure | 1 = 60 psig | ||||||||||||
| 1 = 600 psig 2 = 1000 psig | 2 = 100 psig | ||||||||||||
| 3 = 3500 psig 4 = 4000 psig | 3 = 160 psig | ||||||||||||
| Blank = No Gauge | 4 = 200 psig | ||||||||||||
| (7) Gauge Port Configuration | 5 = 300 psig | ||||||||||||
| A = No Gauge Port (Fig. A) | Blank = No Gauge | ||||||||||||
| B = 1/4 Internal Face Seal (Fig. C) | (10) User Option | ||||||||||||
| C = 1/4 Internal Face Seal (Fig. B) | Customization | ||||||||||||
| D = 1/4 Internal Face Seal (Fig. D) | (11) Grade | ||||||||||||
| E = 1/4 Male Face Seal (Fig. D) | Blank = BA Standard (10 Ra in) | ||||||||||||
| F = 1/4 Male Face Seal (Fig. C) | P = Electropolishing (5 Ra in) | ||||||||||||
| G = 1/4 Male Face Seal (Fig. B) | PX = Electropolishing (5 Ra in) | ||||||||||||
□ | Ordering No. | Material | Conection | Max Inlet Pressure | Max Outlet Pressure Range | Grade |
□ | S4RG1-VF-13C35-P | 316L Stainless Steel Sigle Melted | 1/4" F.VCR | 3500 Psig | 1~250 Psig | EP |
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