RG1 Series
Designed for point-of-use medium flow to be used in process gas cabinets for gas companies,
equipment manufactures and semiconductor manufacturers.
Precise control of gas pressure at or near the process tool for flow rates of up to 250 SLPM at 300 PSIG inlet.
All internal surfaces are finished with 10Ra or 5Ra to ensure minimal particle generation and entrapment.
Metal-to-metal diaphragm seals provide enhanced leak tight integrity.
Every step of assembly, welding, testing and final cleaning finished in Class 100 or 10 Cleanrooms
　　　　　　　
 Specifications
 Fluid Media　　　　　　
All gases corrosive or non-corrosive or those requiring high purity regulation
compatible with materials of construction. For other media, consult with factory.
 Pressure Rating　　　Per criteria of ANSI / ASME B31.3.
● Max. rated inlet pressure :3500 or 600 PSIG (241 or 41 bar)
● Outlet pressure ranges :1-30, 1-60, 1-100, 1-150 or 1-250 PSIG
(.1-2.1, .1-4.1, .1-6.9, .1-10.3 or .1-17.3bar)
●  Design proof pressure : 150% of Maximum rated pressure
 Materials in Contact with Media　　　　　
● Body :316L Stainless Steel with BA, Electropolish
● Outlet pressure ranges :PCTFE (Vespel optional for 3500 PSIG model only)
● Diaphragm :Hastelloy C-22
●  Spring, valve stem and valve bush :316L Stainless Steel
 Other Parameters　　　　　
● Flow coefficient :Cv=0.06(3500 PSIG model), Cv=0.2(600 PSIG model)
● Certified maximum inboard leak rate :1X10-9 atm cc/sec He
● Internal surface finish :10Ra or 5Ra microinch(.25 or .13 micrometer)
● Operating temperature :
PCTFE seat-15℉  to + 176℉ (-26℃  to +80 ℃)
Vespel seat-15℉  to + 350℉ (-26℃  to +177℃)
● Weight (w/o gauges) :2.0lbs.(.9kg)
　　　　　　　
 Ordering Information

 

 

 (1) Material　　 H = 1/4 Female Face Seal (Fig. D)　
 S = 316L Stainless Steel Sigle Melted　　 I = 1/4 Female Face Seal (Fig. C)　
 D = 316L Stainless Steel Double Melted J = 1/4 Female Face Seal (Fig. B)　
  (2) Connection Size　 K = 1/4 Fixed Male Face Seal (Fig. B)　
 4 = 1/4　　 L = 1/4 Fixed Male Face Seal (Fig. C)　
 (3) Product　　 M = 1/4 Fixed Male Face Seal (Fig. D)　
 RG1 Series　　 N = 1/4 Female NPT Thread (Fig.B)　
 (4) Connection Type　 O = 1/4 Female NPT Thread (Fig.C)　
 NF = Female NPT Thread　 P = 1/4 Female NPT Thread (Fig.D)　
 SW = Compression Lok Fitting　 (8) Outlet Pressure Range　
 TW = Tube Butt Weld　 0 = 1~ 30 psig　　
 VF = Female Type Face Seal　 1 = 1~ 60 psig　　
 VM = Male Type Face Seal　 2 = 1~100 psig　　
 VMF = Fixed Male Type Face Seal 3 = 1~250 psig　　
 (5) Maximum Inlet Pressure　 4 = 1~150 psig　　
 1 = 3500 psig　　 (9) Maximum Range of Outlet Gauge
 2 = 600 psig　　 0 = 30 psig　　
 (6) Maximum Range of Inlet Gaugeure 1 = 60 psig　　
 1 = 600 psig        2 = 1000 psig　 2 = 100 psig　　
 3 = 3500 psig      4 = 4000 psig　 3 = 160 psig　　
 Blank = No Gauge　 4 = 200 psig　　
 (7) Gauge Port Configuration　 5 = 300 psig　　
 A = No Gauge Port (Fig. A)　 Blank = No Gauge　　
 B = 1/4 Internal Face Seal (Fig. C) (10) User Option　　
 C = 1/4 Internal Face Seal (Fig. B) Customization　
 D = 1/4 Internal Face Seal (Fig. D) (11)   Grade　　
 E = 1/4 Male Face Seal (Fig. D)　 Blank = BA Standard (10 Ra in)　
 F = 1/4 Male Face Seal (Fig. C)　 P = Electropolishing (5 Ra in)　
 G = 1/4 Male Face Seal (Fig. B)　 PX = Electropolishing (5 Ra in)　

 

 

 

 

 

 

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 Ordering No.

Material

Conection

 Max Inlet Pressure

 Max Outlet Pressure Range

Grade

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S4RG1-VF-13C35-P

 316L Stainless Steel Sigle Melted

1/4" F.VCR

3500 Psig

1~250 Psig

EP